GaAs / AlGaAs - rakenteiden kuivaetsaus : diplomityö
GaAs / AlGaAs - rakenteiden kuivaetsaus : diplomityö
Tallennettuna:
| Ulkoasu |
73 lehteä : kuvitettu |
|---|---|
| Kieli |
suomi |
| Alkuteoksen kieli |
suomi |
| Tiivistelmän kieli |
englanti |
| Julkaisija |
[Tampere] :
Tampereen teknillinen korkeakoulu,
2000.
|
| Opinnäyte | Diplomityö : TTKK, sähkötekniikan osasto, Optoelectronics Research Centre (ORC) |
| Luokitus | |
| Lisätiedot | Jukka Lindfors |