Tämän työn tavoitteena oli pietsoresistiivisen ilmiön demonstrointi manganiininimisessä kuparipohjaisessa seoksessa.

Ilmiötä tutkittiin sputteroimalla ohut manganiiniviiva erilaisille eristäville alustoille: epoksille, sooli-geelille, DLC:lle ja alumiinioksidille. Alumiinioksidilevyille sputteroiduista viivoista kaksi ensimmäistä olivat pinnoittamattomia ja viimeinen pinnoitettiin alumiinioksidilla käyttäen ALD-menetelmää. Manganiiniviivat testattiin kohdistamalla niihin mekaaninen voima ja kytkemällä ne Wheatstonen siltaan. Wheatstonen sillan napojen välistä jännite-eroa seuraamalla tutkittiin viivojen resistanssin muuttumista voiman funktiona.

Epoksin päälle sputteroidusta viivasta ei saatu luettavia tuloksia. Sooli-geelin ja DLC:n päälle sputteroitujen viivojen havaittiin olevan oikosulussa teräksiseen alustaan. Alumiinioksidille sputteroiduista viivoista havaittiin selvä resistanssin muutos kohdistetun voiman funktiona. Etenkin ALD-menetelmällä pinnoitetusta viivasta saatiin terävä vaste voiman muutoksiin.

Edellä esitetyn perusteella voitiin todeta, että pietsoresistiivinen ilmiö pystyttiin demonstroimaan, kun manganiiniviiva oli sputteroitu oikeanlaiselle alustalle; alumiinioksidille. Ilmiön demonstroinnin lisäksi voitiin myös todeta manganiinista valmistetun ohutkalvoanturin soveltuvuus korkeiden paineiden mittaamiseen.