GaAs / AlGaAs - rakenteiden kuivaetsaus : diplomityö
GaAs / AlGaAs - rakenteiden kuivaetsaus : diplomityö
Saved in:
Physical Description |
73 lehteä : kuvitettu |
---|---|
Language |
Finnish |
Language of Original Work |
Finnish |
Language of Abstract |
English |
Publisher |
[Tampere] :
Tampereen teknillinen korkeakoulu,
2000.
|
Dissertation Note | Diplomityö : TTKK, sähkötekniikan osasto, Optoelectronics Research Centre (ORC) |
Classification | |
Additional Information | Jukka Lindfors |